Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
A normal-temperature bonding device is provided with a load lock chamber in which the pressure of an atmosphere is reduced, and a cartridge disposed in the load lock chamber.
French[fr]
L'invention porte sur un dispositif d'assemblage à température normale qui comprend une chambre à sas de chargement dans laquelle la pression d'une atmosphère est réduite, et une cartouche agencée dans la chambre à sas de chargement.
Japanese[ja]
本発明による常温接合装置は、内部の雰囲気が減圧されるロードロックチャンバーと、そのロードロックチャンバーの内部に配置されるカートリッジとを備えている。