Metadata
Author: cordis
Data
German[de]
Obwohl die optische Lithografie durch die Möglichkeit der Herstellung sehr kleiner elektrischer Geräte der Halbleiterindustrie einen Aufschwung verschafft hat, kann sie keine Strukturen erstellen, die kleiner als 100nm sind.
English[en]
Optical lithography, despite having given a boost to the semiconductor industry by allowing the manufacture of tiny electronic devices, cannot pattern feature sizes less than 100nm.
Spanish[es]
La litografía óptica, a pesar de haber impulsado la industria de los semiconductores permitiendo la fabricación de dispositivos electrónicos diminutos, no puede transferir patrones de menos de 100nm.
French[fr]
Bien qu'ayant donné un coup de fouet à l'industrie des semi-conducteurs en permettant la fabrication de minuscules dispositifs électroniques, la lithographie optique est incapable de représenter des motifs d'une taille inférieure à 100nm.
Italian[it]
La litografia ottica ha reso possibile produrre dispositivi elettronici sottili, e ha dato così un forte impulso all'industria dei semiconduttori, ma non è in grado di trasferire modellature inferiori ai 100nm.