Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The high frequency pulsating power is generated with a maximum duty ratio out of duty ratios which satisfy a target value of the surface coverage of the silicon insulating film.
French[fr]
La puissance pulsée haute fréquenceest générée avec un rapport cyclique maximal parmi des rapports cycliques qui satisfont une valeur cible de la couverture de surface du film isolant au silicium.
Japanese[ja]
前記パルス状高周波電力は、シリコン系絶縁膜の表面被覆率の目標値を満たすデューティー比のうち最大のデューティー比で生成されている。