Besonderhede van voorbeeld: -7925380793787400319

English

Without pellicles, particle adders would reduce yield, which has not been an issue for conventional optical lithography with 193 nm light and pellicles.

Spanish

Sin las películas, los agregadores de partículas reducirían el rendimiento, lo que no ha sido un problema para la litografía óptica convencional con luz y películas de 193 nm.