Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
In addition, the invention improves the productivity and quality by remarkably reducing the time taken for separating the substrate from the crystalline thin film.
French[fr]
De plus, cette invention permet d'améliorer le rendement et la qualité dans la mesure où elle permet de réduire considérablement le temps requis pour séparer le substrat du film mince cristallin.
Korean[ko]
본 발명은 결정박막을 성장시키는 단계와 상기 박막으로 성장된 결정박막을 기판으로부터 분리하는 단계에서 발생되는 결정결함이 획기적으로 줄어든 분리 박막을 수득하기 위한 방법과 이를 위한 공정 중에 필요한 요소들을 보다 경제적이고 간단한 방법으로 수득할 수 있도록 하는 수단을 제공한다.