Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
A thin film can be exfoliated from a mother substrate using a thermal expansion having a wedge pattern or can be exfoliated by a method for forming undercuts in the mother substrate using Lorentz force.
French[fr]
Selon la présente invention, un film mince peut être exfolié à partir d'un substrat mère en utilisant une dilatation thermique ayant un motif en forme de coin, ou peut être exfolié par un procédé pour former des contre-dépouilles dans le substrat mère en utilisant la force de Lorentz.
Korean[ko]
박막은 쐐기 패턴의 열적 팽창을 이용하여 모기판으로부터 박피되거나, 로렌츠 힘을 이용하여 모기판의 내부에 언더컷을 형성하는 방법을 이용하여 박피될 수 있다. 모기판 박피는 모기판의 재사용을 가능하게 한다.