Metadata
Author: cordis
Data
German[de]
Für diese neue Generation von Mikro-Gyroskopen wurde im Rahmen von MERMIG die richtige Mischung aus siliziumphotonischer CMOS-kompatibler Komponentenfertigung und Nanoprägelithografie-Laserfertigung genutzt.
English[en]
For this new generation of micro-gyroscopes, MERMIG has exploited the right mix of silicon photonic CMOS-compatible component fabrication and nano-imprint lithography laser fabrication.
Spanish[es]
Para obtener esta nueva generación de microgiróscopos, MERMIG ha utilizado la combinación adecuada de fabricación de componentes fotónicos compatibles con CMOS a base de silicio, por un lado, y fabricación con nanolitografía con láser, por el otro.
French[fr]
Pour concevoir cette nouvelle génération de micro gyroscopes, les chercheurs de MERMIG ont associé la fabrication de composants photoniques en silicium, compatibles CMOS, avec la nano-impression par lithographie laser.
Italian[it]
Per questa nuova generazione di micro-giroscopi, il progetto MERMIG ha sfruttato il giusto mix di fabbricazione di componenti fotonici CMOS-compatibili in silicio e nanolitografia laser.
Polish[pl]
Na potrzeby tej nowej generacji mikro-żyroskopów uczestnicy projektu MERMIG wykorzystali odpowiednie połączenie krzemowych fotonicznych komponentów kompatybilnych z CMOS oraz nanowytwarzania laserowego metodą litografii z odciskiem.