Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The provided etching liquid, which has a pH between 1.5 and 2.5, contains (A) hydrogen peroxide, (B) nitric acid, (C) a fluorine ion source, (D) an azole, (E) quaternary ammonium hydroxide, and (F) a hydrogen peroxide stabilizer.
French[fr]
Le liquide de gravure, dont le pH se situe entre 1,5 et 2,5, contient (A) du peroxyde d'hydrogène, (B) de l'acide nitrique, (C) une source d'ions fluor, (D) un azole, (E) un hydroxyde d'ammonium quaternaire, et (F) un stabilisateur de peroxyde d'hydrogène.
Japanese[ja]
(A)過酸化水素、(B)硝酸、(C)フッ素イオン供給源、(D)アゾール類、(E)第四級アンモニウムヒドロキシド及び(F)過酸化水素安定剤を含み、pHが1. 5~2.