Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Transparent sheet including optical fiber cable, and method and apparatus for detecting polishing end point in cmp process using same
French[fr]
Feuille transparente comprenant un câble de fibre optique, et procédé et appareil permettant de détecter une limite de polissage dans un procédé de polissage mécanochimique (cmp) l'utilisant
Korean[ko]
광섬유케이블이 포함된 투과성시트, 이를 이용한 CMP공정에서의 연마종결점 검출방법 및 장치