Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Side walls (541) surrounding the columns are formed by such etch-back.
French[fr]
Les parois latérales (541) qui entourent les colonnes sont formées par une telle gravure en retrait.
Japanese[ja]
次いで、シリコン酸化膜51及び円柱上にシリコン窒化膜を形成する。 シリコン窒化膜はエッチバックされる。