Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The present invention discloses a physical/biochemical sensor employing an array of piezoelectric micro-cantilever resonators of several sizes which can perform simultaneous quantitative analysis of effects due to surface stress changes together with mass-dependent effects, and discloses a production method therefor.
French[fr]
La présente invention porte sur un capteur physique/biochimique utilisant un réseau de résonateurs à micro-porte-à-faux piézoélectriques de plusieurs dimensions qui peuvent effectuer une analyse quantitative simultanée d'effets dus à des changements de contrainte de surface ainsi que d'effets dépendant de la masse, et sur un procédé de production de celui-ci.
Korean[ko]
본 발명은 질량 인가 효과와 더불어 표면 응력 변화에 의한 효과를 동시에 정량적으로 분석할 수 있는 다중 크기 압전 마이크로 칸티레버 공진자 어레이를 이용한 물리/생화학 센서 및 그 제작방법을 개시한다. 압전 마이크로 칸티레버 공진자를 이용한 물리/생화학 센서에 있어서, 상기 압전 마이크로 칸티레버 공진자는 감지과정에서 발생되는 센서 표면의 질량 변화 뿐만 아니라 흡착된 감지 대상물질에 의한 표면 응력 변화를 구별하여 정량 분석할 수 있도록 서로 다른 크기를 갖는 다수개의 압전 마이크로 칸티레버 공진자들이 배열되는 구조로 구성됨으로써, 질량 인가 효과와 더불어 표면 응력 변화에 의한 효과를 동시에 정량적으로 분석할 수 있도록 한 것이다.