Metadata
Author: cordis
Data
German[de]
Für die Fertigung der Nanocantilever wurden innovative Nanolithografietechniken und neuartige SOI-Substrate (Silicon on Insulator) eingesetzt.
English[en]
Innovative nanolithography techniques and novel silicon-on-insulator (SOI) substrates were employed for the nanocantilever fabrication.
Spanish[es]
Para fabricar las nanopalancas se emplearon técnicas innovadoras de nanolitografía y sustratos novedosos de silicio sobre aislante (SOI).
French[fr]
Des techniques de nanolithographie innovantes et de nouveaux substrats SOI (pour silicon-on-insulator, ou silicium sur isolant) ont servi à la fabrication des cantilevers.
Italian[it]
Per la fabbricazione di nanocantilever sono state impiegate tecniche innovative di nanolitografia e i nuovi substrati SOI (Silicon-On-Insulator).
Polish[pl]
W celu produkcji nanowsporników wykorzystano innowacyjne techniki nanolitografii i nowatorskie substraty SOI (krzem na izolatorze).