Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Compound containing an aromatic ring for a resist underlayer, resist underlayer composition including same, and method for forming a pattern of a device using same
French[fr]
Composé contenant un noyau aromatique pour une sous-couche de réserve, composition de sous-couche de réserve le contenant et procédé de formation de motif de dispositif au moyen de cette composition
Korean[ko]
레지스트 하층막용 방향족 고리 함유 화합물, 이를 포함하는 레지스트 하층막 조성물 및 이를 이용하는 소자의 패턴 형성 방법