Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Diffraction grating, diffraction grating element, and charged particle beam device equipped with same
French[fr]
Réseau de diffraction, élément à réseaux de diffraction, et dispositif à faisceau de particules chargées les comprenant
Japanese[ja]
回折格子、または回折格子素子、またはそれらを備えた荷電粒子線装置