Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Image detection device, charged particle beam device, and sample observation method
French[fr]
Dispositif de détection d'image, dispositif à faisceau de particules chargées et procédé d'observation d'échantillon
Japanese[ja]
画像検出装置、荷電粒子線装置および試料観察方法