Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The isolator has nozzles for directing a flow of reactive species towards the edge area of the substrate and a purge plenum for biasing flow of reactive species towards an exhaust plenum while the substrate rotates on a chuck.
French[fr]
L'isolateur comporte des buses servant à orienter un flux d'espèces réactives en direction de la zone marginale du substrat et un compartiment de purge servant à incliner le flux d'espèces réactives en direction d'un compartiment d'échappement tandis que le substrat tourne sur un mandrin.