Metadata
Author: cordis
Data
German[de]
Zu diesen gehören die genaue Kontrolle der Größe und Position des Katalysators, die mittels Nanolithographie bestimmt werden, sowie die Auswahl einer hohen Temperaturdiffusionsgrenze für starke Leistung und Einheitlichkeit.
English[en]
These included precise control of the size and the position of the catalyst dot by nanolithography as well as selection of a high temperature diffusion barrier for high yield and uniformity.
Spanish[es]
Estos parámetros incluyen el control preciso del tamaño y la posición del catalizador mediante nanolitografía, así como la selección de una barrera contra la difusión de temperaturas elevadas para obtener uniformidad y un rendimiento alto.