Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The present invention relates to a method for the enhanced production of insulating layers by High Power Impulse Magnetron Sputtering (HiPIMS) or High Power Pulsed Magnetron Sputtering (HPPMS).
French[fr]
La présente invention concerne un procédé de production améliorée de couches isolantes par pulvérisation à magnétron et impulsions de haute puissance (HiPIMS) ou par pulvérisation à magnétron pulsée à haute puissance (HPPMS).