Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
One upper electrode (UEL) and other adjacent upper electrodes (UEL) are disposed at same intervals (D1) without having a guard ring therebetween.
French[fr]
Une électrode supérieure (UEL) et d'autres électrodes supérieures (UEL) adjacentes sont disposées à intervalles réguliers (D1) sans grille de protection entre celles-ci.
Japanese[ja]
互いに隣り合う一の上部電極(UEL)と他の上部電極(UEL)とは、その間にガードリングを介在させることなく、いずれも同じ間隔(D1)を隔てて配置されている。