Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Disclosed are a microwave generation device, a driving method of the device thereof, and a waste gas removal system.
French[fr]
La présente invention concerne un dispositif de génération de micro-ondes, un procédé de commande dudit dispositif, et un système de retrait de gaz résiduaire.
Korean[ko]
마이크로웨이브 발생 장치, 이 장치의 구동 방법 및 폐가스 제거 시스템을 공개한다. 마이크로웨이브 발생 장치는 마이크로웨이브를 발생하는 마그네트론, 및 상기 마그네트론을 구동하기 위한 서로 다른 위상을 갖는 복수개의 정류된 고전압 생성하는 전원 공급 회로를 구비한다.