Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The measurement device of the present invention comprises: a pattern projection unit (310) for projecting a pattern on a measurement target having an arbitrary height; an image acquisition unit (320) including an image sensor for acquiring a pattern image projected on the measurement target; a measurement target position determination unit (330) including a position sensor for measuring a moved position by moving the measurement target upwards and downwards; a control unit (340) for receiving the image acquired by the image sensor and a signal of the position signal for measuring a position of the table; and a calculation unit (350) for calculating the height of the measurement target by calculating the image of the image sensor, which is inputted into the control unit, and a position input signal received from the position sensor.
French[fr]
Le dispositif de la présente invention comprend : une unité de projection de motif (310) permettant de projeter un motif sur une cible de mesure ayant une hauteur arbitraire; une unité d'acquisition d'image (320) comprenant un capteur d'image pour acquérir une image de motif projetée sur la cible de mesure; une unité de détermination de position de cible de mesure (330) comprenant un capteur de position pour mesurer une position déplacée en déplaçant la cible de mesure vers le haut et vers le bas; une unité de commande (340) permettant de recevoir l'image acquise par le capteur d'image et un signal du signal de position permettant de mesurer une position de la table; et une unité de calcul (350) permettant de calculer la hauteur de la cible de mesure en calculant l'image du capteur d'image, qui est entrée dans l'unité de commande, et un signal d'entrée de position reçu du capteur de position.
Korean[ko]
본 발명의 측정장치는 임의 높이 형상을 갖는 측정대상물에 패턴을 영사하는 패턴 영사부(310), 상기 측정대상물에 영사된 패턴영상을 획득하는 이미지센서를 포함하는 영상획득부(320), 측정대상물을 상하로 이동시키고 이동된 해당위치를 측정하는 위치센서를 포함하는 측정대상물 위치결정부(330), 상기 이미지센서에서 획득되는 영상과 상기 테이블의 위치를 측정하는 위치센서의 신호를 입력받는 제어부(340), 상기 제어부에 입력되는 이미지센서의 영상과 상기 위치센서로부터 입력받는 위치입력신호를 연산하여 측정대상물의 높이를 연산하는 연산부(350)를 포함한다.