Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The present invention relates to a multi-layer structure encapsulating method for an optical element and, more particularly, to a multi-layer structure encapsulating method for an optical element having a multi-layer structure in which a polysilazane layer is formed as a separate layer in an upper part or a lower part of a silicon layer, thereby reducing outgassing, and an optical element comprising an encapsulant of a multi-layer structure produced thereby.
French[fr]
L'invention concerne un procédé d'encapsulation de structure multicouche pour un élément optique et, plus particulièrement, un procédé d'encapsulation de structure multicouche pour un élément optique ayant une structure multicouche dans laquelle une couche de polysilazane est formée en tant que couche séparée dans une partie de dessus ou une partie de dessous d'une couche de silicium, réduisant ainsi le dégazage, et un élément optique comprenant un agent d'encapsulation d'une structure multicouche produite ainsi.
Korean[ko]
본 발명은 광학소자의 다층구조 봉지방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 폴리실라잔층이 실리콘층의 상부 또는 하부에 별도의 층으로 형성되어 다층구조를 가짐으로써 아웃가스를 줄일 수 있는 광학소자의 다층구조 봉지방법 및 이를 통하여 제조된 다층구조의 봉지재를 포함하는 광학소자에 관한 것이다.