Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
In the process, the cooling solution contains silicon tetrachloride and trichlorosilane, wherein silicon tetrachloride is contained in an amount of 80 mol% or more relative to the total mass (100 mol%) of silicon tetrachloride and trichlorosilane.
French[fr]
Dans le procédé, la solution de refroidissement contient du tétrachlorure de silicium et du trichlorosilane, le tétrachlorure de silicium étant contenu à hauteur de 80 % en mole ou plus par rapport à la masse totale (100 % en mole) du tétrachlorure de silicium et du trichlorosilane.
Japanese[ja]
四塩化珪素および水素を含有する出発混合物を1200°Cを超え1400°C以下の範囲内の温度で反応させてトリクロロシランを含有する生成混合物を生成する工程と、生成混合物を、四塩化珪素およびトリクロロシランを含有し四塩化珪素およびトリクロロシランの合計質量を100モル%とした場合に四塩化珪素を80モル%以上の含有率で含む冷却液に直接接触させて冷却する工程と、を含むトリクロロシランの生産方法を提供する。