Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
By executing a control unit command, the cylinder actuates a sliding block into a linear reciprocation.
French[fr]
Par l'exécution d'un ordre d'unité de commande, le cylindre actionne un bloc de coulissement en un va-et-vient linéaire.
Chinese[zh]
通过调整凸起支撑件的位置及滑块的移动距离,可以实现不同直径尺寸晶圆的传输,解决了可传输晶圆尺寸单一的问题。