Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The present invention relates to a substrate-processing system, which imparts a uniform roughness to a back surface of the substrate using sand blasting.
French[fr]
L'invention concerne un système de traitement d'un substrat qui confère une rugosité uniforme à une surface dorsale d'un substrat par projection de sable.
Korean[ko]
본 발명은 샌드 블라스팅을 이용하여 기판의 후면에 균일한 거칠기를 부여하는 기판처리시스템에 관한 것이다.