Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Thus, the wafer having high planarity and high smoothness is manufactured with high productivity and high yield.
French[fr]
Ainsi, une tranche dont la planéité et le caractère lisse sont élevés est fabriquée avec une productivité et un rendement élevés.
Japanese[ja]
これによって、高平坦性・高平滑性のウェーハを高い生産性で、歩留り良く製造することのできるウェーハの研磨方法が提供される。