Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The raising/lowering unit raises and lowers the substrate (9) between a processing position inside the processing tank and a retracted position outside of the processing tank.
French[fr]
L'unité d'élévation/d'abaissement élève et abaisse le substrat (9) entre une position de traitement à l'intérieur de la cuve de traitement et une position rétractée à l'extérieur de la cuve de traitement.
Japanese[ja]
昇降部は、処理槽内の処理位置と処理槽外の退避位置との間で基板(9)を昇降する。