Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Discharge gas from which excimer molecules are formed by dielectric barrier discharge or capacitive coupling high-frequency discharge is filled into the single pipe-type quartz discharge container (1).
French[fr]
Un gaz de décharge, à partir duquel des molécules d'excimère sont formées par décharge à barrière diélectrique ou décharge haute fréquence à couplage capacitif, est introduit à l'intérieur du contenant de décharge en quartz de type à tuyau unique (1).
Japanese[ja]
単管型の石英製放電容器1内に、誘電体バリア放電や容量結合型高周波放電によってエキシマ分子が形成される放電ガスを封入する。