Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
A film bulk acoustic resonator employing an Sc-containing aluminum nitride based piezoelectric thin film, and which can both ensure satisfactory fractional bandwidth and improve the frequency-temperature characteristic, is obtained.
French[fr]
La présente invention concerne un résonateur acoustique en volume à film qui utilise un film mince piézoélectrique à base de nitrure d'aluminium contenant du Sc, et qui peut à la fois obtenir une bande passante fractionnaire satisfaisante et améliorer la caractéristique fréquence-température.
Japanese[ja]
比帯域の確保と周波数温度特性の改善とを両立し得る、Sc含有窒化アルミニウム系圧電薄膜を用いた圧電薄膜共振子を得る。 スカンジウム原子数とアルミニウム原子数の合計を100原子%としたときのSc濃度が0.