Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Provided is a planarization method by which a Ru film that is formed as a memory-configuring film can be planarized.
French[fr]
L'invention concerne un procédé de planarisation par lequel un film de Ru qui est formé en tant que film de configuration de mémoire peut être planarisé.
Japanese[ja]
メモリの構成膜として成膜されたRu膜を平坦化することができる平坦化方法を提供する。