Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The controlling unit has programmable electronic device, when it is inputted various parameters, controlling unit can control etching liquid supply unit and gas supply unit.
French[fr]
L'unité de commande du système comporte un dispositif électronique programmable, dans lequel sont introduits différents paramètres pour la commande de l'unité d'alimentation en liquide d'attaque et de l'unité d'alimentation en gaz.