Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Disclosed is a method for manufacturing a half-tone mask, wherein film-forming steps are reduced.
French[fr]
La présente invention concerne un procédé de fabrication d'un masque en demi-teintes permettant de réduire les étapes de formation de film.
Japanese[ja]
ハーフトーンマスクの製造方法において、成膜工程を減らす。