Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The composition for forming an upper layer film comprises a resin ingredient and a solvent.
French[fr]
La composition de formation d'un film de couche supérieure comprend un ingrédient de résine et un solvant.
Japanese[ja]
本発明の目的は、ウォーターマーク欠陥や溶け残り欠陥等の液浸露光プロセス由来の欠陥発生を効果的に抑制できる上層膜を形成可能な液浸用上層膜形成用組成物及び液浸用上層膜並びにレジストパターン形成方法を提供することである。