Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Cordierite sintered body and member for semiconductor device composed of cordierite sintered body
French[fr]
Corps fritté à base de cordiérite et élément pour dispositif à semi-conducteurs composé de ce corps fritté à base de cordiérite
Japanese[ja]
コージェライト質焼結体およびこのコージェライト質焼結体からなる半導体製造装置用部材