Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
In the formulae, R1 represents a hydrogen atom or a methyl group; R2 represents an alkyl group, an alkoxyl group or an alicyclic hydrocarbon group; p is a number of 0-3; q is a number of 1-3; and p and q satisfy p + q ≤ 5.
French[fr]
Dans les formules, R1 représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle ; R2 représente un groupe alkyle, un groupe alkoxyle ou un groupe hydrocarboné alicyclique ; p est un nombre compris entre 0 et 3 ; q est un nombre compris entre 1 et 3 ; et p et q satisfont la relation : p + q ≤ 5.
Japanese[ja]
EUV等の極端紫外線に有効に感応し、感度に優れ、微細パターンを高精度にかつ安定して形成可能な化学増幅型ポジ型レジスト膜を成膜することができる感放射線性樹脂組成物であって、この樹脂組成物は、式(1)、式(2)および/または式(3)で表される繰り返し単位(i)および式(4)で表される繰り返し単位(ii)を含む重合体を含み、R1は水素原子もしくはメチル基、R2はアルキル基、アルコキシル基、または脂環式炭化水素基であり、pは0~3、qは1~3、p+q≦5である。