Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Magnesium oxide precursor, method for producing same, and method for forming a thin film using same
French[fr]
Précurseur d'oxyde de magnésium, son procédé de préparation et procédé de formation d'un film mince l'utilisant
Korean[ko]
산화 마그네슘 전구체, 이의 제조방법, 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법