Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Apparatus and method for continuously preparing silicon nitride with improved particle size uniformity
French[fr]
Appareil et procédé de préparation continue de nitrure de silicium présentant une uniformité granulométrique améliorée
Korean[ko]
입자크기의 균일도를 향상시킨 연속식 질화규소 제조장치 및 제조방법