Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The lower surface of the substrate (S) is seated on the second seat surface (9) when the substrate (S) warps downward in a concave shape.
French[fr]
La surface inférieure du substrat (S) est assise sur la seconde surface de siège (9) lorsque le substrat (S) est gauchi vers le bas dans une forme concave.
Japanese[ja]
また、第1の座面(6)から内方に離れたロボットハンド(3)の上面部分に、基板Sが下方に凹状に反ったときに基板(S)の下面が着座する、基板(S)の中心に向けて下方に傾斜した第2の座面(9)が設けられる。