Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Disclosed is a semiconductor device with a built-in resistance change element that makes it possible to increase reliability, increase density, and decrease electrode resistance.
French[fr]
L'invention concerne un dispositif semi-conducteur avec un élément de changement de résistance intégré qui permet d'augmenter la fiabilité, d'augmenter la densité et de réduire la résistance des électrodes.
Japanese[ja]
半導体基板上の多層配線層の内部に抵抗変化素子を有する半導体装置であって、前記抵抗変化素子は、上部電極と下部電極との間に、抵抗が変化する抵抗変化素子膜が介在した構成となっており、前記多層配線層は、少なくとも、前記下部電極と電気的に接続された配線と、前記上部電極と電気的に接続されたプラグと、を備え、前記プラグの側面乃至底部は、バリアメタルによって覆われており、前記上部電極の最上部は、前記バリアメタルと直接触しており、前記バリアメタルと同一材料、又はバリアメタルに含まれる成分と同一成分を含む材料で構成されている。