Metadata
Author: patents-wipo
Data
German[de]
Die aktuellen Meßwerte aus den Schichtdicken- und Temperaturmessungen können zur Prozeßkontrolle herangezogen werden.
English[en]
The current results of layer thickness and temperature measurements may be used in process control.
French[fr]
Les valeurs obtenues dans les mesures d'épaisseur de couche et de température peuvent être employées pour la commande de processus.