Metadata
Author: springer
Data
German[de]
Weiters werden speziell hervorgehoben: Probleme der Bearbeitungsgenauigkeit, die Nichtlinearität elektrostatischer Stellbewegungen und die optische Erfassung. von Verlagerungen.
English[en]
Among them: machining accuracy problems, the nonlinearity of electrostatic actuation and the optical sensing method of displacements.