Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
By using the above-described MEMS probe card and method of manufacturing same, precise resistance values may be obtained, and responses may be made to power changes in test equipment, such as for semiconductor ICs.
French[fr]
L'utilisation de la carte sonde MEMS et du procédé selon l'invention permet d'obtenir des valeurs de résistance précises et de répondre aux changements de puissance dans un équipement d'essai du type utilisé pour des circuits intégrés semi-conducteurs.
Korean[ko]
상기와 같은 MEMS 프로브용 카드 및 그의 제조 방법을 이용하는 것에 의해, 정밀한 저항값을 얻을 수 있으며, 반도체 IC등의 테스트 장치에서의 전력 변화에 대응할 수 있다.