Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The tested-body chamber (21) is evacuated, a probe liquid is supplied to the inside of the tested body and is pressurized to a pressure of 0.1 MPa or more, and the concentration of a probe medium leaking from the tested body and evaporating in a vacuum is measured by the quadrupole mass spectrometer (34), thereby measuring the flow rate of leakage from the tested body.
French[fr]
On fait le vide dans la chambre de corps testé (21), on introduit un liquide sonde à l'intérieur du corps testé et on le pressurise à une pression égale ou supérieure à 0,1 MPa, puis on mesure la concentration d'un milieu sonde fuyant du corps testé et s'évaporant dans le vide au moyen du spectromètre de masse quadripôle (34) afin de déterminer le débit de fuite à partir du corps testé.
Japanese[ja]
1MPa以上に加圧し、被試験体から漏れ出し真空中で気化した探査媒体の濃度を四重極質量分析計34により測定することにより、被試験体からの漏れ流量を測定する。 探査媒体として液体を用いて漏れ流量が定量でき、かつ0.