Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Applying the resulting mixture onto a substrate suitable for use in the production of an integrated circuit, to produce a coated substrate. The coated substrate is then heated for a time and at one or more temperatures effective to remove the thermally degradable polymer, so as to produce the desired low dielectric nanoporous dielectric film.
French[fr]
L'application du mélange ainsi obtenu sur le substrat précité permet d'obtenir un substrat revêtu qui est ensuite chauffé pendant un certain temps à une température efficace pour retirer le polymère thermiquement dégradable de manière à obtenir le film diélectrique nanoporeux peu diélectrique.