Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Another objective of the present invention is to provide a pickup device that is for wafers having micro-protrusions and that is equipped with the abovementioned protector.
French[fr]
Un autre objectif de la présente invention est de fournir un dispositif de préhension qui est destiné à des plaquettes à micro-protubérances et qui est équipé de l'organe de protection susmentionné.
Japanese[ja]
微小突起付ウエハの微小突起を損傷させることなく、かつ微小突起付ウエハに接する多孔質シートを容易かつ確実に交換可能とした微小突起付ウエハ吸着装置用保護具およびこのような保護具を備えた微小突起付ウエハ吸着装置を提供することを目的とすること。