Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
The present invention generally relates to an inductive-capacitive element that may be used to form a single coil within an inductively-coupled plasma apparatus.
French[fr]
La présente invention a trait à en général à un élément inductif-capacitif qui peut être utilisé pour former une bobine unique à l'intérieur d'un appareil à plasma à couplage inductif.