Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Provided is a thin film deposition apparatus which comprises a chamber, a susceptor, a source gas supply part, and a susceptor support.
French[fr]
La présente invention concerne un dispositif de dépôt de couche mince qui comprend une chambre, un suscepteur, un élément d'alimentation en gaz sources et un support de suscepteur.
Korean[ko]
박막 증착 장치는 챔버와, 서셉터와, 소스가스 공급부, 및 서셉터 지지대를 포함한다. 챔버는 증착 공정이 행해지는 내부 공간을 갖는다.