Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
A substrate holding frame (12), onto which a substrate (11) is mounted, is loaded into an evacuated vacuum chamber (41).
French[fr]
Un châssis porte-substrat (12), sur lequel est monté un substrat (11), est chargé dans une chambre à vide (41) dans laquelle le vide a été fait.
Japanese[ja]
基板の大型化に対応し、かつタクトタイムが短く、かつ低コストの成膜装置及び成膜方法を提供する。