Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Furthermore, the erosion part and flange part of the target are each made to have a regulated degree of (111) orientation to improve the evenness of film thickness.
French[fr]
De plus, la partie d'érosion et la partie de rebord de la cible sont amenées chacune à présenter un degré régulé d'orientation (111) pour améliorer l'uniformité de l'épaisseur du film.
Japanese[ja]
また、同ターゲットにおいて、エロージョン部とフランジ部の(111)配向率を調製し、膜厚の均一性を向上させるものである。