Metadata
Author: patents-wipo
Data
English[en]
Method for producing nitride compound semiconductor substrate, and nitride compound semiconductor free-standing substrate
French[fr]
Procédé de production d'un substrat semi-conducteur à base d'un composé nitrure, et substrat autonome semi-conducteur à base d'un composé nitrure
Japanese[ja]
窒化物系化合物半導体基板の製造方法及び窒化物系化合物半導体自立基板